材料期刊网

激光化学气相反应生长Ti(C,N)薄膜的成分及微观结构

张炳春 , 李梅 , 王亚庆 , 冯钟潮

材料研究学报

运用XRD、EPMA、TEM等手段分析在Ti—6Al—4V基材上用激光化学气相反应生长的Ti(C,N)薄膜的成分、结构、显微组织可在基材表面形成大面积均匀的Ti(C,N)膜层,为无明显择优取向的等轴纳米晶,其中有少量的Ti2N相,且Al、V含量低于基材。

关键词: 激光 , chemical vapour growth of thin film , Ti(C